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蔡司扫描电镜样品的处理过程：
主要包括表面清洁、固定、漂洗和脱水等过程，基本上与透射电镜样品的处理方法相似,但也有其特殊之处。
1. 样品大小　所切取样品比透射电镜样品稍大一些，为8～10mm2，高约5mm。
2. 清洁表面　清洁表面并充分暴露样品表面。常用清洗液有蒸馏水、生理盐水、缓冲液及含酶的清洗液等。
3. 固定和脱水　常用的固定方法是戊二醛-四氧化饿双重固定，也可用戊二醛单固定法。
常用脱水剂是乙醇或丙酮。脱水剂浓度梯度增加，从30%或50%开始至100%进行脱水；易变形样品脱水剂浓度梯度宜缓慢递增。
4. 样品的干燥　脱水后，需要将样品中的脱水剂彻底挥发干净，即样品干燥。其方法有：空气干燥 、真空干燥、冷冻干燥和临界点干燥。
5. 样品表面导电处理　用金属镀膜法和组织导电处理技术，一是可增强导电能力，消除荷电效应；二是增加样品表面二次电子发射率，加强讯号，提高图像反差。
（1）金属镀膜：使样品表面覆盖薄层金属膜，这层薄膜与样品表面的凹凸形态完全一致，使标本表面的形貌得以反映。常用的金属有金、铂、钼、或金/铂、铂/铯合金。镀膜的方法有真空镀膜法和离子溅射法。
（2）组织导电技术：其目的是为提高导电率克服生物材料的荷电效应，提高样品表面二次电子发射率。组织导电处理也称导电染色，是利用某些金属盐类能与生物材料中的蛋白质、脂类和淀粉等结合，使样品表面离子化，使组织导电性增加；并且提高二次电子的发射率。可用醋酸铀、碘化钾、丹宁酸等处理标本。

以下是蔡司ORION NanoFab用于亚10纳米级应用的SEM扫描电镜仪器